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日立AeroSurf 1500臺式大氣壓掃描電子顯微鏡

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1.含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
2.從低真空到大氣壓(數 Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進行SEM觀察
3.標準搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進行EDX分析(選配)
5.主機采用330 mm寬度的小型設計,實現節省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時間,快速實現從搭載樣品到觀察圖像的全過程

概要

大氣壓觀察(圖1)

  • 樣品設置在標準大氣壓環境下(105 Pa)
  • 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內部由隔膜分離,在保持SEM內部真空的同時,可對樣品進行電子束照射觀察
  • 而且,可通過附帶的真空泵在負壓下(約103~105 Pa)進行觀察

低真空觀察(圖2)

  • 隔膜可拆卸,還可進行低真空SEM觀察和EDX分析
  • 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導體背散射電子檢測器
項目 內容
電子槍 預對中燈絲
檢測系統 高靈敏度4分割半導體背散射電子檢測器
加速電壓 5 kV/15 kV
倍率 ×15~×60,000(使用數碼變焦時:×240,000)
觀察壓力 大氣壓模式(105 Pa)(裝有隔膜時)
負壓模式(約103 Pa~105 Pa)(裝有隔膜時)
低真空模式(數 Pa~數10 Pa)(拆下隔膜時)
max樣品尺寸 直徑55 mm
大小和重量 主機:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手動操作臺)
控制裝置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg
隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2臺

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