日立AeroSurf 1500臺式大氣壓掃描電子顯微鏡
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- 產品簡介
- 產品性能參數
- 適用范圍
- 服務網點
1.含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
2.從低真空到大氣壓(數 Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進行SEM觀察
3.標準搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進行EDX分析(選配)
5.主機采用330 mm寬度的小型設計,實現節省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時間,快速實現從搭載樣品到觀察圖像的全過程
2.從低真空到大氣壓(數 Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進行SEM觀察
3.標準搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進行EDX分析(選配)
5.主機采用330 mm寬度的小型設計,實現節省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時間,快速實現從搭載樣品到觀察圖像的全過程
概要
大氣壓觀察(圖1)
- 樣品設置在標準大氣壓環境下(105 Pa)
- 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內部由隔膜分離,在保持SEM內部真空的同時,可對樣品進行電子束照射觀察
- 而且,可通過附帶的真空泵在負壓下(約103~105 Pa)進行觀察
低真空觀察(圖2)
- 隔膜可拆卸,還可進行低真空SEM觀察和EDX分析
- 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導體背散射電子檢測器
項目 | 內容 |
---|---|
電子槍 | 預對中燈絲 |
檢測系統 | 高靈敏度4分割半導體背散射電子檢測器 |
加速電壓 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15~×60,000(使用數碼變焦時:×240,000) |
觀察壓力 | 大氣壓模式(105 Pa)(裝有隔膜時) |
負壓模式(約103 Pa~105 Pa)(裝有隔膜時) | |
低真空模式(數 Pa~數10 Pa)(拆下隔膜時) | |
max樣品尺寸 | 直徑55 mm |
大小和重量 |
主機:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手動操作臺) 控制裝置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg 隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2臺 |
更多詳細資料可來電咨詢,服務熱線:400-600-6053!