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日本電子JSM-7500F 冷場發射掃描電子顯微鏡
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- 產品簡介
- 產品性能參數
- 適用范圍
- 服務網點
JSM-7500F場發射掃描鏡配備了冷場發射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達到很高的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。
強大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場發射掃描電鏡的電子光學系統將場發射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發射電子槍在低加速電壓下也能夠將電子束聚焦得很細，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察.
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標準SB（二次電子檢測）模式、標準BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
強大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場發射掃描電鏡的電子光學系統將場發射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發射電子槍在低加速電壓下也能夠將電子束聚焦得很細，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察.
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標準SB（二次電子檢測）模式、標準BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
| 電子槍 | 冷場發射 | ||
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 | ||
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV | ||
| 加速電壓 | 0.1～30kV | ||
| 束流 | 1pA ～ 2nA | ||
| 自動光闌角控制透鏡 | 內置 | ||
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 | ||
| 檢測器 | 高位檢測器（SED） | ||
| 低位檢測器（LED） | |||
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 | ||
| Gentle Beam模式 | 內置 | ||
| 樣品交換室 |
內置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的max樣品：φ100mm×40mmH |
||
| 樣品臺 | 5軸馬達驅動、全對中測角樣品臺 | ||
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉: 360° | ||
更多詳細資料可來電咨詢，服務熱線：400-600-6053！
