超微電子元器件芯片高精度鍍層測厚儀 通用型XTU-4C
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- 產品簡介
- 產品性能參數
- 適用范圍
- 服務網點
性能優勢：
下照式設計：快速方便的定位各種形狀的樣品，滿足一切測試所需。
無損變焦檢測：擁有手動變焦功能，可對各種異形凹槽件進行無損檢測，凹槽深度范圍0-30mm。
微聚焦射線裝置：可測試各微小的部件，小檢測面積可達0.002mm2。
高效率的接收器：在檢測0.01mm2以下的樣品時，幾秒鐘也可達到穩定性。
精密微型滑軌：精密的手動移動平臺，快速精準定位所需檢測的樣品。
EFP算法軟件：可檢測單鍍層，多鍍層，多元合金，甚至對于同種元素在不同層的厚度檢測也能分析，包括輕金屬鍍層，非金屬鍍層，達克羅，Nip鍍層測試，包括Ni與P的比例也均可檢測。
準直器和濾光片：多種準直器和濾光片電動切換，滿足各種測試方式的應用。
高壓電源和X光管：性能穩定可靠，高達50W的功率實現更高的測試效率。
高效的散熱系統：對流通風過濾式風冷，儀器即便全天候開啟，都可保持恒溫恒效。
防護裝置：恒壓恒流快門式光閘，擁有高壓電源緊急自鎖功能，帶給您全方位的防護。
技術參數：
測量元素范圍：CI(17)-U(92)
涂鍍層分析范圍：Li(3)-U(92)
分析軟件：EFP，可同時分析23層鍍層，24種元素，不同層有相同元素和有機物厚度也可分析
測試程式添加：1862條測試程式免費提供，也可編輯新程式
軟件操作：人性化封閉軟件，自動提示校正和步驟，避免操作錯誤
X射線裝置：升壓發射一體高分子聚合式W靶微聚焦加強型射線管
接收器：日本東芝正比計數管，窗口面積≥150mm2
射線準直系統：垂直光路交換裝置搭配黃金準直器
視頻觀測光路系統：垂直光路交換裝置搭載100mm變焦鏡頭
測樣讀取開啟方式：恒壓恒流快門式光閘
濾光片：鋁、空、鎳
準直器：?0.05mm；?0.1mm；?0.2mm；?0.5mm；四準直器自由切換
近測距光斑擴散度：10%
小測量面積：約0.002mm2
測量距離：具有距離補償功能，可改變測量距離，能測量凹凸異形樣品，變焦距離0-30mm
樣品觀察：1/2.5彩色CCD，全局快門，有效像素：1280*960，變焦功能
對焦方式：高敏感鏡頭（無需增加其他輔助傳感器），手動對焦
放大倍數：光學38-46X，數字放大40-200倍
樣品臺尺寸：500mm*360mm
樣品可放置區域：480mm*320mm*205mm（C型開槽設計，特殊測試時可以多出區域放置樣品）
外部尺寸：540mm*430mm*475mm
移動方式：高精密XY手動滑軌
可移動范圍：40mm*50mm
電源：交流220V 50HZ
功耗：120W（不包括計算機）
冷卻系統：對流通道過濾式風冷
保養升級模塊：軟硬件模塊化
環境要求：使用時溫度：10℃-40℃ 存儲和運輸時溫度：0℃-50℃ 空氣相對濕度：≤80%
重量：約45KG
隨機標準片：十二元素片、Ni/Fe、Au/Ni/Cu
其他附件：電腦一套、噴墨打印機、附件箱
