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型號(hào)

VMU222

VMU322

VMU432

行程(mm)*

200×200×200

300×200×200

400×300×200

外部尺寸(mm)

1040×700×1620

1040×700×1620

1240×800×1620

重量(kg)

150

160

200

承重(kg)

25

25

25

測(cè)量精度

XY軸**

E2=(2.0+L/300)μm

E2=(2.5+L/300)μm

Z軸***

E1=(5.0+L/200)μm

速度

XY軸

500mm/S

Z軸

100mm/S

光柵尺

0.1μm  Renishaw光柵尺，

導(dǎo)軌

THK

圖像傳感器

高清晰彩色工業(yè)攝像機(jī)

光源

輪廓光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

表面光

3內(nèi)環(huán)3外環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操控，256級(jí)亮度可調(diào)外三環(huán)可程控升降，提供45°到75°多種落設(shè)角度照明

同軸光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

光學(xué)鏡頭

12.5：1連續(xù)變倍

放大倍率****

光學(xué)放大倍率：0.6~7.5X，影像放大倍率：18~230X

軟件

Vispec測(cè)量軟件（VMU版）

運(yùn)動(dòng)控制

自主專(zhuān)利的CNC直流伺服系統(tǒng)

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，濕度30～80%

振動(dòng)<0.002g，低于15Hz

電源

220~240Vac ,  50/60Hz ,單相, 700W