主動控制隔振平臺- MRT-P/B系列
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- 產品簡介
- 產品性能參數
- 適用范圍
- 服務網點
MRT-P/B主動隔振平臺以連勝ZDT高性能空氣彈簧作為基本的支撐；同時配以傳感器、控制電路和音圈作動器，共同組成精密主動控制隔振系統。其中P/B型空氣彈簧，一方面解決了光學平臺及儀器設備的承載問題，另一方面可以對大于其隔振頻率的環境振動進行第一級過濾；對于未完全過濾掉的微小振動,則由傳感器采集平臺六個自由度的振動信號輸入控制器，由其作出迅速有效的信號處理，以控制音圈作動器，使其提供與平臺殘余振動大小相等、方向相反的力。
其主要優勢在于：
l 進一步消除殘余振動，大幅提升空氣彈簧光學平臺的隔振性能;
l 有效遏制空氣彈簧固有頻率附近有害的振動放大及共振，使系統能始終處于穩定、優良的工作狀態。
l 對于小的沖擊，音圈電機反應快，使系統能快速的恢復到穩定狀態。
性能指標：
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隔振頻率 |
1—200Hz |
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隔振性能 |
5Hz ：衰減90%, 10Hz：衰減 95% |
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負載能力 |
根據平臺的尺寸而定 |
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單作動器最大補償力 |
±10N (垂直)，±10N(水平) |
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沖擊響應時間 |
≤300ms |
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供電 |
220V 50W |
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工作溫度及條件 |
溫度 5-40℃ 濕度 0-60% 工作條件＜2500m 海拔高度 |
標準尺寸：
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臺板規格 |
臺板尺寸（mm） |
高度（m） |
載荷（KG） |
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009006 |
900×600 |
0.8 |
＜135 |
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010008 |
1000×800 |
0.8 |
＜200 |
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012009 |
1200×900 |
0.8 |
＜270 |
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015010 |
1500×1000 |
0.8 |
＜375 |
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018010 |
1800×1000 |
0.8 |
＜450 |
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020010 |
2000×1000 |
0.8 |
＜500 |
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012012 |
1200×1200 |
0.8 |
＜360 |
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015012 |
1500×1200 |
0.8 |
＜450 |
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018012 |
1800×1200 |
0.8 |
＜540 |
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020012 |
2000×1200 |
0.8 |
＜600 |
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024012 |
2400×1200 |
0.8 |
＜720 |
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030012 |
3000×1200 |
0.8 |
＜900 |
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015015 |
1500×1500 |
0.8 |
＜560 |
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018015 |
1800×1500 |
0.8 |
＜675 |
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020015 |
2000×1500 |
0.8 |
＜750 |
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024015 |
2400×1500 |
0.8 |
＜900 |
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030015 |
3000×1500 |
0.8 |
＜1125 |
應用領域：
掃描探針顯微鏡（AFM/LFM/STM）
激光干涉儀
激光共聚焦顯微鏡
對振動有極高要求的儀器設備
系統涉及概念及參數：
l 單個作動器最大補償力：為系統單個作動器對平臺振動所能施加反作用力的最大值。
l 沖擊響應時間：為系統受到一定量的沖擊振動后恢復穩定所經歷的時間； 系統沖擊響應時間：300ms。
l 音圈電機：因其結構類似于喇叭的音圈而得名，具有高頻響、高精度的特點。根據振動環境和系統總質量的不同，最大可提供±10N的力。
l 傳感器：加速度傳感器，是感知外界振動信號加速度大小的器件。傳感器量程0.5g，頻率范圍0.05-300Hz，靈敏度10V/G
l 控制器：主要負責信號放大、濾波、變換、采集數據，計算，功率放大的模塊。
