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MicroXAM-800光學輪廓儀
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- 服務網點
產品描述
MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。
主要功能
針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量
SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知程序設置的測量范圍輸入
Z-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面
XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描
使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建，實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性
利用已知技術，從其他探針和光學輪廓儀轉移算法
主要應用
臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度
紋理：3D粗糙度和波紋度
形式：3D翹曲和形狀
邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量
缺陷復檢：3D缺陷表面形貌
臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度
紋理：3D粗糙度和波紋度
形式：3D翹曲和形狀
邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量
缺陷復檢：3D缺陷表面形貌
工業應用
大學、研究實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發光二極管
電力設備
MEMS：微電子機械系統
數據存儲
醫療設備
精密表面
汽車
大學、研究實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發光二極管
電力設備
MEMS：微電子機械系統
數據存儲
醫療設備
精密表面
汽車
