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固有頻率

垂直：1.0～2.0Hz    水平：1.0～2.0Hz

隔振方式

空氣彈簧   隔振橡膠

水平方式

自動(dòng)水平   氣動(dòng)控制

阻尼方式

多小孔空氣阻尼

平臺(tái)高度

800mm

工作壓力

0.2～0.4MPa

空氣源

靜音空氣壓縮機(jī)  ＜50dB

隔振效率

垂直：5Hz時(shí)：82～88% ；   10Hz時(shí)：86～95%

水平：5Hz時(shí)：78～86% ；   10Hz時(shí)：84～92%

重復(fù)定位精度

±0.1mm

臺(tái)板平面度

≤0.05mm/m2

臺(tái)板粗糙度

≤0.8μm，表面亞光處理

調(diào)節(jié)高度

±10mm

臺(tái)板規(guī)格

臺(tái)板尺寸（mm）

固有頻率

高度（m）

載荷（KG）  

009006

900×600

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜135

010008

1000×800

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜200

012009

1200×900

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜270

015010

1500×1000

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜375

018010

1800×1000

垂直：1.8Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜450

020010

2000×1000

垂直：1.8Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜500

012012

1200×1200

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜360

015012

1500×1200

垂直：2.0Hz    水平：2.0Hz

0.8

＜450

018012

1800×1200

垂直：1.8Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜540

020012

2000×1200

垂直：1.8Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜600

024012

2400×1200

垂直：1.5Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜720

030012

3000×1200

垂直：1.5Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜900

035012

3500×1200

垂直：1.5Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜1050

040012

4000×1200

垂直：1.2Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜1200

050012

5000×1200

垂直：1.2Hz    水平：1.5Hz

0.8

＜1500

060012

6000×1200

垂直：1.2Hz    水平：1.5Hz

0.8

＜2000

015015

1500×1500

垂直：1.8Hz    水平：1.8Hz

0.8

＜560